我的“中国芯” ——记1979年全国劳模、清华(2)

最终，李志坚根据大量试验结果，开创性地成功提出薄膜光导体的晶粒电子势垒理论，完成关于CdS、CdSe薄膜的电子激发电导的毕业论文，用明确的实验结果证实了多晶膜的晶粒间电子势垒对电导、光电导所起的决定性的作用，以及这一势垒与晶界状态、晶粒大小等依赖性的有关规律，以优异的成绩获得了苏联列宁格勒大学物理—数学科学副博士学位。

得知学习半导体专业的李志坚即将回国，正在创建中的清华大学无线电系负责人李传信亲自开车去火车站将他 “劫”到了清华。如此盛情下，李志坚没有按当时的传统回到留学前的派出单位，而是留在清华大学刚刚组建成的半导体教研组，不久便被委以教研组负责人的重任，并开始主持半导体研究。在之后的工作中，李志坚和他的同事们攻克了纯度高达 “九个九”的多晶硅的制作，紧接着又在研制 “平面型高反向击穿电压硅晶体三极管”中取得成功，并早在1963年就开始酝酿集成电路的研究。

研制出汉字只读存储器芯片

李志坚对科研方向的准确把握，得到领导和同事的广泛称赞。以他为首的20世纪60年代半导体教研组在锗材料大热的背景下，独辟蹊径选择专攻半导体材料硅，直接把握到集成电路研究的关键领域。当说起李志坚是否在苏联时就已经有做硅材料的想法时，同在苏联留学的同学张礼介绍说： “那个时候年轻，而且都得听组织安排，但我可以判断他是有远见的，回国后他提出要做硅，这就反映了他的理解和水平。”李志坚1957年加入中国共产党时，张礼是他的入党介绍人。

作为微电子所的一代领导人，李志坚所做的决定是靠着自己的研究经验，形成了对世界电子科技的敏锐观察，也形成了自己对研究前景的理解和预测。在李志坚事业的发展期，不论是清华半导体教研组初建时，在白手起家建立起的实验室里进行硅材料研究，还是之后的集成电路、微纳电子技术，这些道路的选择可以说是时代发展的必然，但也正是因为这些选择顺应了时代潮流，走在了半导体发展趋势显露之前，才使清华大学微电子所从事的一些研究始终走在全国前列。

清华微电子所在李志坚任科研所长时从事的几项重大科研项目，如1～1.5微米成套工艺开发和1兆位汉字只读存储器的研制，覆盖了工艺线、设计组、器件物理组等几乎全所的科研力量。从当时国内第一个可满足集成电路生产要求的超净车间的建立，到电路设计、工艺流水试制、测试分析，经历上百个环节，20世纪80年代初的微电子所大部分老师将自己的近20年科研精力奉献给了这条生产线。而这一科研项目正是为了突破国外对先进科技的禁运和控制，满足国家的战略需求，最终研制成功具有我国独立自主版权、在性能指标上达到世界先进水平的汉字只读存储器芯片，这在中国集成电路技术的自主发展方面具有重大的战略意义。

正是由于李志坚坚持带领团队追赶世界科技前沿，使当时的中国半导体技术在基础差、资金短缺的情况下，可以集中有限的资源突破国外的技术封锁，以高屋建瓴之势占领学术前沿。

与清华大学微电子所并肩前行的北京大学微纳电子研究院和中科院微电子所共同制定统一的科学研究规划，分别承担科研任务。王阳元院士说： “我们三个单位是兄弟，各有特色、互为补充。清华大学微电子所的发展特点是面向国家战略需求、面向科学前沿、面向工业产业需求，而这正是当前国家科学研究工作最缺乏的。李先生毕其一生，对中国微电子事业的贡献和清华微电子学科的发展是功不可没的。”也正是由于李志坚在微电子所初期就建立起的研究理念和团队精神，为清华微电子所的发展谋划出宏伟前景。

李志坚在实验室。

2008年10月9日，李志坚到天津大学为老友葛守仁庆祝八十寿诞（前排左一为李志坚）。

李志坚正在分析数据。

个人前途命运始终与祖国需要相连

历史的发展充满偶然性，而这些偶然中又包含着必然。李志坚偶然地考入了浙大物理系，偶然地被派往列宁格勒大学学习半导体。在当时的社会背景下，专业和就业方向的选择是个人无法控制的，遑论安排自己的未来和命运。然而，使其成为必然事件的是李志坚自小在战争环境中培养出的爱国主义精神、刻苦好学的求学意志。时代赋予了李志坚一代科学家肩负的历史重任，也让他们见证了中国科学技术和学科建设的历史进程。

伴随着李志坚学术成长的，是新中国对半导体科技的迫切需求，是科学发展历程中的曲折，是新世纪微电子科技的迅猛发展。这些给李志坚带来了机遇和希望，也带来了辛劳。

文章来源：《微电子学与计算机》 网址: http://www.wdzxyjsjzz.cn/qikandaodu/2020/0813/369.html