半导体工艺检测实验教学改革与研究*(3)

探索网络化教学新模式：充分利用微信、QQ等互联网介质，建立学生和任课教师之间的网上答疑系统[11]，教师在课前将预习内容和要求通过网络系统发放给学生，学生在预习过程中将自己的问题通过网络系统反应给老师，方便教师提前准备，在课堂上对相关问题进行针对性分析答疑。同时教师也可通过微信、QQ等网络平台分享《半导体工艺检测》实验拓展内容和教学资源，如实验视频、习题讲解和课件等，方便学生课后自主学习。这种线上线下有机融合的教学模式对学生学习具有有利的促进作用。

2.小班授课，提高学生参与度

为提高实验教学质量，分批分时段自主选实验的小班授课方法会很好的避免多人使用一台设备影响实验效果的问题。我们的实验课安排为8人一批，先进行集体小桌授课，进行提问环节和实验原理讲解与内容拓展，进行教师发问学生解答和学生提问教师解答的互动探讨模式。

然后8人自由组合为4组，每2人一组使用一台设备，需要在不同实验条件下测试2组实验数据，学生各自记录自己的实验数据，并进行分析。这样的组合既可以让学生在实验中能够互相探讨学习，提高合作能力，又可以避免浑水摸鱼和实验数据抄袭的情况发生，让每个学生都能够亲自参与动手实验。

3.细化考核方式，实现公平公正

该实验课程属于专业基础性实验，与设计性实验不同，不涉及综合设计实验，因此在实验成绩考核方式上单个实验的细化考核就更加重要。根据该实验课实施过程的实际情况，确定细化考核指标，让考核分数公正、明确、可行[11]。具体的考核方法如下。

单个实验的成绩考核占比为：课前预习15%，出勤情况5%、实验参与度10%，实验操作20%、实验数据10%，实验报告（原理、数据处理和拓展思考题）40%。注重课前预习和实验过程考核，按照学生在实验完成中的参与度分为3个等级：实验主导者，应付敷衍者和被动参与者，鼓励学生积极参与到实验中；实验报告发现雷同抄袭者绝不姑息，抄袭部分一律0分处理，详见表1。实验能力测试为实验课外的独立考试环节。

单个实验的总成绩=课前预习15%+实验过程45%+实验报告40%

该实验课不设置专门的期末考试，注重实验过程考核，将单个实验的平时成绩综合评估作为期末成绩。提高学生对每次实验的重视程度。而对于实验能力的考核开设专门的能力测试考试来对每一位学生进行单独评估，实行一人一题，单人单考。

4.加强师资建设投入

多层次实验技术岗位教师队伍建设是高校实验教学的必然趋势。增加高学历专业人才是提高高校实验系列教育的首要之举。教师的高度决定了学生的水平。高学历、经验丰富的实验技术岗位教师掌握先进的实验技术手段，解决本学科实验技术的疑难问题，提高学生创新思维和动手解决问题的能力。只有提供教师队伍的整体的专业知识素养，才有可能培养出高水平的专业技术研究人员和工程师。

我校“集成电路实验教学示范中心”积极引进新增博士学位实验技术岗位专职教师4名，加强实验技术岗位队伍建设。目前，实验中心师资队伍层次健全，其中包括正高3名，副高2名，讲师4名。主讲《半导体工艺检测》实验课的教师具有微电子博士学位，系统学习过微电子相关的理论课程和实验课程，具有相关方向的研究经验，熟悉微电子相关实验设备及其原理，具有较高的研究能力和实验探索能力。我实验中心还在不断加大师资队伍建设，今后教师梯队将会更加完善。教师队伍的壮大，不断引入新鲜年轻血液，将为《半导体工艺检测》实验课的改革建设工作提供可靠保障。

表1 半导体工艺检测单个实验考核评分标准考核项目 考核内容 分数比例(总分100%) 评分标准(满分100分)实验前 课前预习15%预习报告书写认真(15分)预习报告书写不认真全面(10分)未完成预习报告(0分)出勤情况 5% 准时到课(5分)迟到5分钟以上(0分)实验参与度10%实验主导者(10分)应付敷衍者(5分)被动参与(0分)实验中实验操作20%操作准确且步骤正确(20分)操作不准确但步骤正确(15分)操作不准确且步骤错误(0分)实验数据10%数据全部正确(10分)部分正确(5分)全部错误(0分)实验报告内容完整性 10% 报告内容完整(10分)报告内容不完整(0分)书写 5% 书写整洁(5分)书写潦草(0分)试验后数据处理10%数据处理正确(10分)数据处理部分正确(5分)数据处理全部错误或雷同(0分)思考题 15% 思考题分析正确15分,每错一道减5分,答案雷同0分

文章来源：《微电子学与计算机》 网址: http://www.wdzxyjsjzz.cn/qikandaodu/2020/1228/454.html